電子顕微鏡について

1. SEM 3万倍くらいまで 1000万円
2. FESEM 3万倍以上 3000万円
3. 絶縁物だと測れない。

=>チャージアップ(電子がサンプルにたまって画像で見ると白くなる)

1. 加速電圧上げるとサンプルの表面でなく中まで見える。
2. 1低加速電圧にすればチャージアップも起こらず表面も見る事ができる。
3. 角度を変えて画像を取ると3次元(高さ情報)も得る事ができる。

=>目の原理